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产品名称：URE-2000/17型紫外光刻机 |
主要技术指标： |
| 曝光面积：100mm×100mm |
| 分辨力：1.7μm（胶厚2μm的正胶）； |
| 对准精度：±1μm |
| 最大胶厚： |
| 掩模尺寸:2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch |
| 样片尺寸：直径Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可扩展为15mm)； |
| 照明均匀性：±6%（Ф100mm 范围） |
| 汞灯功率：200W（直流） |
| 掩模相对于样片运动行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6° |
技术特点： |
| 采用双目双视场显微镜对准；球碗调平,单片机控制,触摸开关,操作方便、实用性强。 |
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