成都晶普科技有限公司

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产品名称：URE-2000/25型紫外光刻机

主要技术指标：

曝光面积：100mm×100mm

分辨力：1.5μm（胶厚1.5μm的正胶）

对准精度：±0.8μm

最大胶厚：300μm（SU8胶）

掩模尺寸:2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch

样片尺寸：直径Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可扩展为15mm)；

照明均匀性：±4%（Ф100mm 范围）

汞灯功率：200W（直流）

掩模相对于样片运动行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°

技术特点：

球气浮实现高精度调平；超精密手轮对准调节，单片机控制,触摸开关操作；整机精度高、性能可靠

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