成都晶普科技有限公司

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产品名称：URE-2000F翻板机

主要技术指标：

曝光场面积：155mm×155mm

分辨力：2μm；

照明不均匀性：4%

光源平行性：20

汞灯功率:1000W（直流，进口汞灯，长寿命型）

基片尺寸：3 inch、4 inch、5 inch、6 inch

曝光波长：365nm；

曝光方式：定时（倒计时方式0.1s—999s）；

主要技术配置：

（1）曝光头：冷光椭球镜； 1000W进口直流高压汞灯(德国欧司朗,长寿命型)；XYZ汞灯调节台；光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜1、准直镜镜2、蝇眼透镜组（100个透镜）、i线滤光片、场镜1、场镜2、冷光反射镜1、反射镜2；冷却风扇；循环水冷系统
（2）掩模工件台：具有真空曝光功能，满足3英寸、4英寸、5英寸、6英寸掩模母版及要复制掩模工件。
（3）电控系统：汞灯触发电源(1000W直流汞灯)；单片机控制器；控制机箱
（4）气动系统：气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等；电磁阀驱动；真空泵

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