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GJTJ系列机械式三维工件台

    中国科学院光电技术研究所长期从事精密工件台研发工作，先后完成国内首台1.5微米g线步进投影光刻机、国内首台亚微米g线步进投影光刻机、国内首台i线步进投影光刻机、步进投影数字光刻机、“激光共聚焦生物芯片扫描仪”、EUV曝光系统、接近接触光刻机、光子筛激光直写光刻机、台式投影光刻机、3D生物打印机等设备的研制。这些高精度装备的工件台均是自主研发。已销售各种型号高精度工件台产品近百台。

     GJTJ系列机械式三维工件台有GJTJ-3A和GJTJ-3B两种型号，其主要技术参数如下：
产品型号 GJTJ-3A机械式二维工件台 GJTJ-3B机械式二维工件台
产品图片 GJTJ-3A机械式二维工件台 GJTJ-3B机械式二维工件台
重复定位精度 ±500nm（±3σ） ±300nm（±3σ）
直线性 3″-5″ 3″-5″
正交性 5″ 5″
XYZ向行程 100mm×100mm×100mm 100mm×100mm×15mm
定制 可定制 可定制，定制范围0mm～50mm
结构组成 串联结构 并联结构
驱动方式 电机带动精密滚珠丝杠进行驱动 电机带动精密滚珠丝杠进行驱动
导向方式 精密直线导轨进行导向 精密直线导轨进行导向
检测与反馈 精密光栅进行位置检测及反馈 精密光栅进行位置检测及反馈
技术特点 电机与滚珠丝杠通过高品质弹性联轴器连接，传动同步，消偏性能好，大大降低了偏心扰动和工作噪声；精密滚珠丝杠采用预压处理，消除了轴向背隙并可降低因轴向力造成的弹性位移；对导轨安装面进行研磨处理并结合精密装调，可实现工件台极高的运动直线性（0.5″）和正交性（1″）；采用球头带动结构可消除运动噪声及结构平差；关键零部件均采用国外知名公司产品。步进电机采用日本三洋，丝杠、导轨采用日本THK，精密光栅采用美国Micro-E，以保证工件台的可靠性及稳定性。
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