成都晶普科技有限公司

设为首页　收藏本站

查看产品

产品名称：GJTJ-4A机械式四维工件台

主要技术指标：

XYZ重复定位精度：±300nm（±3σ）

直线性：1″～5″

正交性：5″

XYZ向行程：100mm×100mm×15mm

θZ向旋转范围±15°旋转精度1″

并联结构，电机带动精密滚珠丝杠进行驱动

精密直线导轨进行导向

精密光栅进行位置检测及反馈

摩擦轮驱动θZ旋转方向

主要特点：

电机与滚珠丝杠通过高品质弹性联轴器连接，传动同步，消偏性能好，大大降低了偏心扰动和工作噪声；精密滚珠丝杠采用预压处理，消除了轴向背隙并可降低因轴向力造成的弹性位移；对导轨安装面进行研磨处理并结合精密装调，可实现工件台极高的运动直线性（0.5″）和正交性（1″）；采用球头带动结构可消除运动噪声及结构平差；关键零部件均采用国外知名公司产品。步进电机采用日本三洋，丝杠、导轨采用日本THK，精密光栅采用美国Micro-E，以保证工件台的可靠性及稳定性。

关于我们产品展示服务支持最新资讯客户案例访客留言

本公司长期代理中国科学院光电技术研究所的光刻机   地址：成都高新区天辉中街56号1栋8层
   蜀ICP备17015248号-1      ©版权所有：成都晶普科技有限公司
联系方式：电话：028-85101784 联系人：龚健文  TEL:13541355104 E-mail:gongjw@ioe.ac.cn.
联系方式：电话：028-85100564 联系人：胡松    TEL:13981738959 E-mail:husong@ioe.ac.cn.