成都晶普科技有限公司

设为首页　收藏本站

查看产品

产品名称：GJTQ-B气浮式工件台

主要技术指标：

XY重复定位精度：±10nm（±3σ）

运动偏摆< 1″

速度300mm/s

XY向行程：150mm×150mm，250mm×250mm（可定制）

宏动台+微动台组合形成，宏动台采用H型结构

直线电机进行驱动，气浮导轨进行导向

精密光栅进行位置检测及反馈，微动台具有6自由度运动功能，通过双频激光干涉仪进行位置检测及反馈

主要特点：

GJTQ系列气浮式工件台从结构设计到器件选型均采用了国际最先进的设计理念和最先进的单元产品。在结构上采用了自主研制的无摩擦，高刚度气浮导轨，气浮刚度可达1000N/um以上；在单元器件上，驱动器件选用荷兰Tecnotion直线电机，美国Parker直线电机，瑞士Maxon伺服电机, 德国PI公司压电陶瓷等国际知名驱动产品，其驱动分辨力小到1nm以下，且稳定可靠；测量器件选用奥地利RS公司高分辨力光栅，安捷伦双频激光干涉仪，其分辨力高达0.6nm。GJTQ系列气浮式工件台，从结构设计到器件选型，层层控制，保证了该系列工件台能到达500mm/s甚至更高的运动性能和10nm的定位性能。

关于我们产品展示服务支持最新资讯客户案例访客留言

本公司长期代理中国科学院光电技术研究所的光刻机   地址：成都高新区天辉中街56号1栋8层
   蜀ICP备17015248号-1      ©版权所有：成都晶普科技有限公司
联系方式：电话：028-85101784 联系人：龚健文  TEL:13541355104 E-mail:gongjw@ioe.ac.cn.
联系方式：电话：028-85100564 联系人：胡松    TEL:13981738959 E-mail:husong@ioe.ac.cn.