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URE-2000S/25型紫外光刻机

产品名称：URE-2000S/25型紫外光刻机

主要技术指标：

  曝光面积：150mm×150mm
  分辨力：1.5μm（胶厚1.5 μm的正胶）
  对准精度：±3μm（双面）
  最大胶厚：300μm（SU8胶）
  掩模尺寸:3inch、4 inch、5 inch、7 inch
  样片尺寸：直径Ф30mm--Ф150mm 厚度0.1mm--6mm(可扩展为15mm)
  照明均匀性：±4%(Ф100mm范围)；±7%(Ф150mm范围)
  汞灯功率：350W（直流）
  掩模相对于样片运动行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°

技术特点：
该机采用国内首创的CCD图像底面对准技术，单曝光头正面曝光实现双面对准的总体设计技术。采用新颖的高精度、多自由度掩模—样片精密对准工件台结构设计，掩模—样片对准过程直观，套刻对准速度快、精度高。掩模板与样片的放置采用推拉式基准平板、真空吸附式，操作方便。
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