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产品名称：URE-2000D型紫外光刻机

主要技术指标：

曝光面积：430 mm×430 mm

分辨力：3μm

对准精度：≤±1μm

最大胶厚：

掩模尺寸:16英寸、17英寸、18英寸、20英寸

样片尺寸：直径Ф50mm-- Ф430mm

照明均匀性：±10%（430 mm×430 mm范围）

汞灯功率：2500W、3500W（直流）

掩模相对于样片运动行程：X: ±6mm; Y: ±6mm; θ: ±6°

技术特点：

采用3500W直流高压汞灯；采用蝇眼透镜实现高均匀照明；实现超大面积光刻；采用CCD自动对准，自动化程度高；性能可靠、操作方便。

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