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产品类别

微透镜列阵
相位板器件
衍射器件(DOE)
微纳米量级结构制作

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衍射器件(DOE)

衍射光学器件在激光加工、激光光束整形、激光医疗、移动智能设备、人机自然交互体感、手姿控制系统等领域应用广泛,可实现高衍射效率、高均匀性光束变换、整形、分光及位相调制等。深入研究基于标量衍射理论的G-S算法、直接二元搜索法(DBS)、模拟退火算法(SA)、遗传算法(GA)、能量守恒算法及基于矢量衍射理论的积分法、微分法、模态法、耦合波法,开发出多款专业光学设计软件,可提供全局最优设计方案。深入开展高深宽比纳米结构的制备研究,成功实现大角度(70度)、复杂图形的设计、加工、制备。产品主要技术参数:器件口径:<100mm;器件材料:熔融石英、BK7、硅、锗、硒化锌、K9、氟化钙、蓝宝石等;特征尺寸:百纳米~微米;量化台阶:多阶 ;衍射效率高。

1、分束器件

将入射光按照设计要求分成所需的一维或二维多束出射光,如2×2、4×4、7×7、 9×9、15×15、65×65等。使用波长涵盖565nm、694nm、850nm、1064nm、2940nm、10.6um等。分束器点阵间能量一致性高、中央主极大可有效控制,也可根据设计需求达到特定能量比分布。可广泛应用于激光医疗、激光加工等领域。

2、整形器件

将入射光按照设计要求分成所需的平顶光、环形光、四极照明等多种,能量比可控。可应用于激光热处理、激光热负荷实验、信号处理等。

3、任意图形生成器件

发展了基于矢量理论的设计方法,成功实现大角度、复杂图形的设计,并成功实现多台阶衍射元件的加工和制备。可根据用户需求,生成任意的图形分布,比如各种标志、人像、枪瞄、网格等衍射元件的设计和加工以及检测。

4、轴向多焦点及长焦深DOE

轴向多焦点DOE,当准直平行光入射时,可以在光轴方向上产生多个焦点,且焦点的数量、间距和能量比可以根据用户需求灵活地调控。长焦深DOE,对于确定的入射光尺寸和透镜的F数,可以灵活调节焦深。

5、多波长DOE

通过衍射元件实现对混合光的精确控制,在成像、全息、光镊、彩色成像像差校正、信息处理、信息传输、防伪、保密等领域有广泛的用途。

6、激光虚拟键盘

激光虚拟键盘通过衍射光学元件在指定平面产生虚拟的键盘图像,再通过红外传感器感知使用者的手指位置,从而达到输入目的。目前激光虚拟键盘已应用于手机、平板电脑、便携式充电设备等。研制的虚拟键盘字体清晰、均匀性好、能量利用率高。提供标准键盘衍射器件,接受定制不同字体、不同排布、不同语言的特种键盘研发。

7、结构光生成器

人机行为交互是指计算机通过定位和识别人类,跟踪人类肢体运动,表情特征,从而理解人类的动作和行为,并做出响应的智能反馈过程的一种全新的、和谐、普适的交互方法。由于衍射件可以把激光变换成几乎任意复杂的结构光(Structured light),包括散斑、条纹等,在体感、手姿控制等系统中得到广泛应用。另外,DOE在深度相机、3D测量等领域应用前景广泛。
2014年12月26日,微光学组成功研制出零级满足人眼安全标准的830nm随机点阵产生器。可广泛应用于运动物体追踪,手势识别,三维传感与测量等领域。下图为微光学组实拍的830nm下随机点阵图,中心零级功率低于0.04mw。

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