最新产品：工件台系列产品

工件台系列产品

中国科学院光电技术研究所经过长期的技术积累,现已形成机械式工件台(GJTJ系列)和气浮式工件台(GJTQ系列)两大成熟产品系列。其中，机械式工件台具有导向精度高、定位准等优点，并可完成XY二维运动、XYZ三维运动及XYZθZ四维运动；气浮式工件台具有导轨无摩擦、导向精度高、运动速度快、定位准等优点。 GJTJ系列机械式工件台有五种型号，分别是： 1. GJTJ-2A机械式二维工件台 ——重复定位精度为±300nm（±3σ），直线性为3″，正交性3″，XY向行程为2.100mm×100mm，200mm×200mm等并可定制 2. GJTJ-2B机械式二维工件台 ——重复定位精度（±3σ）为±40nm，直线性为3″，正交性3″，XY向行程为10mm×10mm；行程从0mm到50mm可定制。 3. GJTJ-3A机械式三维工件台 ——重复定位精度（±3σ）为±500nm，直线性为3″-5″，正交性5″，XYZ向行程为100mm×100mm×100mm并可定制。 4. GJTJ-3B机械式三维工件台 ——重复定位精度（±3σ）为±300nm，直线性为3″-5″，正交性5″，XYZ向行程为100mm×100mm×15mm并可定制。 5. GJTJ-4A机械式四维工件台 —— XYZ重复定位精度（±3σ）为±300nm，直线性为1-5″，正交性5″，XYZ向行程为100mm×100mm×15mm，θZ向旋转范围±15°，旋转精度1″。 GJTJ系列机械式工件台具有如下特点： 电机与滚珠丝杠通过高品质弹性联轴器连接，传动同步，消偏性能好，大大降低了偏心扰动和工作噪声；精密滚珠丝杠采用预压处理，消除了轴向背隙并可降低因轴向力造成的弹性位移；对导轨安装面进行研磨处理并结合精密装调，可实现工件台极高的运动直线性（0.5″）和正交性（1″）；采用球头带动结构可消除运动噪声及结构平差；关键零部件均采用国外知名公司产品。步进电机采用日本三洋，丝杠、导轨采用日本THK，精密光栅采用美国Micro-E，以保证工件台的可靠性及稳定性。 GJTQ系列气浮式工件台有两种型号，分别是： 1. GJTQ-A气浮式工件台 ——重复定位精度（±3σ）为±300nm，运动偏摆< 1″，速度500mm/s，XY向行程为150mm×150mm，250mm×250mm等并可定制。 2. GJTQ-B为气浮式宏微工件台 —— 采用宏动台+微动台的 组合形成.重复定位精度（±3σ）可达±10nm，运动偏摆<1″，速度300mm/s，XY向行程为150mm×150mm，250mm×250mm等并可定制。 GJTQ系列气浮式工件台具有如下特点： 从结构设计到器件选型均采用了国际最先进的设计理念和最先进的单元产品。在结构上采用了自主研制的无摩擦，高刚度气浮导轨，气浮刚度可达1000N/um以上；在单元器件上，驱动器件选用荷兰Tecnotion直线电机，美国Parker直线电机，瑞士Maxon伺服电机, 德国PI公司压电陶瓷等国际知名驱动产品，其驱动分辨力小到1nm以下，且稳定可靠；测量器件选用奥地利RS公司高分辨力光栅，安捷伦双频激光干涉仪，其分辨力高达0.6nm。GJTQ系列气浮式工件台，从结构设计到器件选型，层层控制，保证了该系列工件台能到达500mm/s甚至更高的运动性能和10nm的定位性能。