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新闻资讯
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最新产品：URE-2000/35NI纳米压印光刻机 - 成都晶普科技有限公司
最新产品：URE-2000/35NI纳米压印光刻机
时间：2015-05-25 03:16:34
URE-2000/35NI型紫外光刻机介绍 |
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URE-2000/35NI是我们单面光刻机的主力产品URE-2000/35基础上，添加纳米压印模块，保留URE-2000/35全部功能，利用其紫外照明进行固化，利用对准显微镜和对准工件台进行对准，低成本实现50nm压印。
URE-2000/35NI光刻机设备的主要技术特征如下：
- 压印技术采用成熟的紫外固化纳米压印制作工艺
- 低成本实现高分辨力纳米图形制作
- “按键式”操作模式完成纳米压印工艺
- 采用高精度视频对准技术实现复杂图形套刻制作（兼容光刻部分）
- 高精度驱动机构可实现纳米图形多次套刻（兼容光刻部分）
- 专利照明技术实现纳米图形精准固化（兼容光刻部分）
- 压印模块独立设计，可嵌入传统光刻设备实现纳米压印
- 压印模块兼容性好，可兼容于传统的接近接触式光刻机
- 设备性能可靠，操作界面友好，可满足客户个性化定制需求
可提供整体式解决方案，用户按照提示即可完成纳米压印工艺
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